● 300mmウェハー対応
● 異なるウェハーサイズ兼用機の製作可能（125/150mm、150/200mm兼用等）
● 処理槽のコンパクト化により薬液や純水の使用量の低減
● ご希望に応じた様々なオプション設計・製作が可能（フットプリント、処理構成、乾燥機選択、自動薬液供給装置、等々）
