半導体事業

薬液供給装置

薬液供給装置
 
設置スペースの問題により洗浄装置から分離した薬液供給装置です。
薬液を安全に保管し、薬液を使用する各種装置へ安全に自動供給を行います。
 

主な特長

● 弗酸、硝酸、アンモニア等様々な薬液に対応

● 希釈濃度、温度、使用量等の各種管理が可能

● フィルトレーションによる高純度供給

● 温度・漏液、排気圧センサー等による充分な安全性の確保

● ご希望に応じた様々なオプション設計・製作が可能(フットプリント、供給方式、乾燥機選択、等々)