半導体事業

石英保管庫

stocker_img01.jpg
 
拡散/CVDプロセス処理後の石英炉芯管および各種パーツ/冶工具をクリーン環境下で保管/乾燥する装置です。
赤外線照射/温風による乾燥保管が可能です。
 

主な特長

● 125~300mm用石英管(炉芯管)に対応

● 乾燥後にそのまま保管可能

● クリーンエアフィルターユニット搭載によりクリーンな環境での保管が可能

● ご希望に応じた様々なオプション設計・製作が可能(フットプリント、保管構成、乾燥方式選択、等々)