● 125～300mmウェハーに対応
● 対向型は最大4キャリアまで同時処理可能
● 自転型はキャリアレスに対応
● ウェハー自動洗浄措置との組み合わせにより自動機にもビルトイン可能
● 上蓋にULPAフィルター/イオナイザーを搭載し、常に清浄な空気を吸引
● チャンバー内気流効率化による乾燥効率化の向上
● 特殊シール構造により回転軸からのパーティクル発生防止
● 異常振動発生時には自動停止する安全性
