● 125～300mm用石英管（炉芯管）、石英冶工具に対応
● 回転洗浄方式による薬液少量化、均一な洗浄が可能
● 薬液槽には清浄度向上を目的とし対薬液性に優れたPVDF材を採用
● 薬液槽には雰囲気遮断用自動シャッターが取付可能
● 各種石英冶工具は、オリジナルバスケットにより洗浄可能
● ご希望に応じた様々なオプション設計・製作が可能（フットプリント、処理槽数、自動薬液供給装置、薬剤回収タンク、等々）
● 異形チューブや枝管付チューブ等多彩な石英炉芯管の洗浄が可能
● シャワー洗浄、回転テーブルによる均一な洗浄が可能
● 薬液消費量の大幅な削減によるランニングコストの低減
● 二重扉機構や各種インターロックによる充分な安全性の確保
● パーツ洗浄槽との組み合わせにより石英炉芯管と石英冶工具の同時洗浄が可能
● ご希望に応じた様々なオプション設計・製作が可能（フットプリント、チャンバー数、自動薬液供給装置、薬剤回収タンク、等々）
