半導体事業

メガソニック洗浄装置

メガソニック洗浄装置
 
ウェハー洗浄プロセスに使用する超音波洗浄ユニットです。
自動ウェハー洗浄装置へのビルトインが可能です。
 

主な特長

● ユニット化による安定した超音波洗浄が可能

● 洗浄装置への直接投げ込み式もラインナップ

● 振動素子への共振周波数偏差が少なく槽内の音圧分布が均一

● 過熱検出、異常電流検出、負荷異常、ファン停止等による安全性の確保

● 周波数730kHz、1MHz等の各種ラインナップ

● 洗浄装置にあわせたご希望に応じた様々なオプション設計・製作が可能(200mmx2キャリア、300mm、O/F、QDR、等々)