半導体事業
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半導体関連事業では、拡散プロセスやCVDプロセスにおいて使用される各種炉芯管（石英管）チューブや付随する各種石英パーツの自動洗浄装置をメインに、薬液供給装置やチューブ保管庫といった付帯設備、また各種ウェハー洗浄装置（自動/手動）、メガソニック洗浄装置などの半導体関連装置の開発・製造・販売・アフターサービスを展開しています。現場の事情を細やかに反映させ、またご要望に対しても的確に応えながら常にお客様のニーズを第一に最適装置を提供することを心がけています。
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製品ラインナップ
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石英管（炉芯管）洗浄装置/各種パーツ洗浄装置
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● 拡散/CVDプロセスに用いる石英炉芯管や各種パーツ/冶工具の自動洗浄装置です。
● 各種薬液を使用し自動/手動にて洗浄可能です。
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石英保管庫
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● 拡散/CVDプロセスに用いる石英炉芯管や各種パーツの保管庫です。
● クリーンエアフィルター/ヒーターを使用し、クリーン環境下で保管・乾燥を行います。
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自動/手動ウェハー洗浄装置
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● 各種薬液を用いて、ウェハー洗浄を行う装置です。
● ローダー→洗浄槽→乾燥→アンローダーと自動搬送にて洗浄を行います。
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薬液供給装置
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● 設置スペースの問題により洗浄装置から分離した薬液供給装置です。
● 洗浄装置等に必要とする各種薬液を本体装置へと自動供給することが可能です。
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スピンドライヤー
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● 半導体プロセスにおけるウェハー洗浄後の乾燥を目的とした装置です。
● 回転による遠心力と気流の作用によりウェハーの水滴及び水分を乾燥させる事が可能です。
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メガソニック洗浄装置
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● ウェハーの洗浄プロセスに使用する超音波洗浄ユニットです。
● 自動ウエハー洗浄装置への組み込みが可能です。
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