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沿革
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| 1998年1月 |
株式会社エクサ設立（資本金1,000万円） |
| 1998年6月 |
埼玉県入間郡三芳町に本社・工場を拡張移転 |
| 1998年10月 |
台湾市場進出 |
| 2000年6月 |
超音波洗浄装置にてヨーロッパ市場進出 |
| 2000年6月 |
12インチウエハー対応石英管洗浄装置を受注、台湾大手デバイスメーカーと共同開発 |
| 2000年11月 |
シンガポール市場進出 |
| 2000年12月 |
埼玉県入間郡大井町（現：ふじみ野市）に本社・工場を拡張移転 |
| 2001年8月 |
中国市場進出 |
| 2002年2月 |
資本金を1,325万円に増資 |
| 2003年8月 |
2液混合吐出機の開発・製作・販売を開始 |
| 2005年1月 |
EXA Taiwan Co., Ltd.（エクサ台湾）設立 |
| 2005年2月 |
EXA Taiwan Co., Ltd.（エクサ台湾）蘇州オフィス開設 |
| 2005年9月 |
EXA Taiwan Co., Ltd.（エクサ台湾）上海オフィス開設 |
| 2006年8月 |
資本金を2,000万円に増資 |
| 2006年10月 |
京都営業所開設 |
| 2007年4月 |
Dynamic Micro Systems社（独）の日本総代理店として契約、FOUP/ FOSB洗浄装置他の輸入・販売を開始 |
| 2008年2月 |
埼玉県ふじみ野市に本社・工場を拡張移転
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| 2009年2月 |
太陽電池用ウエハー洗浄装置の開発・製作・販売を開始 |
| 2009年3月 |
太陽電池用ウエハー分離装置（商品名：セパレーター →特許出願中）の開発・製作・販売を開始 |
| 2010年1月 |
資本金を5,000万円に増資（払込総額8,250万円） |
| 2011年6月 |
京都営業所を関西事業所として拡張移転 |
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| （2011年6月1日現在） |
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